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本发明公开了一种电磁驱动式MEMS微镜，包括底座和微镜，所述底座上固定连接设有固定柱，所述固定柱上右侧固定连接设有固定杆，所述固定杆上设有通孔，所述通孔内设有微镜，所述微镜贯穿于通孔设置，所述微镜位于通孔内固定连接设有弹簧一，所述弹簧一的另一侧和通孔侧壁固定连接设置，所述固定杆右侧设有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹套设有螺纹杆，所述螺纹杆贯穿于螺纹孔设置，所述螺纹杆位于通孔内设有调控槽，所述调控槽内转动连接设有转块，所述转块贯穿于调控槽和微镜固定连接设置，所述底座上设有移动板，所述底座上设有移动板的卡
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113406783 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110673823.0
(22)申请日 2021.06.17
(71)申请人 东莞理工学院
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