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本发明公开了一种用于选择性移除硬遮罩的清洗液、其制备方法及应用，所述的清洗液由下述原料制得，所述的原料包括以下质量分数的组分：10％‑50％的氧化剂、0‑1％的D‑氨基酸氧化酶、0‑2％的D型氨基酸、0.1％‑10％的有机碱、0.001％‑10％的螯合剂、0.005％‑10％的缓蚀剂、0.05％‑10％的羧酸铵、0.005％‑1.2％的EO‑PO聚合物L42、0.005％‑2％的钝化剂和余量的水，所述的质量分数为各组分质量占各组分总质量的百分比。本发明清洗液对多种金属及电介质缓蚀性强，清洗效果佳
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113430063 A
(43)申请公布日
2021.09.24
(21)申请号 20201
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