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本发明涉及一种基于CELL的边缘缺陷检测方法,包括:收集历史检测CELL产品累积的数据样本,得到数据标注样本;将数据标注样本输入深度卷积神经网络中进行模型训练,训练出一个稳定收敛的分割模型;捕捉待测CELL产品的产品图像,通过分割模型分割出产品图像中的缺陷坐标位置和mark坐标位置,将缺陷坐标位置输出;调取待测CELL产品的产品图像,将有限个边缘点进行直线拟合,分别得到水平拟合线和垂直拟合线;根据mark坐标位置,分别对拟合出来的水平拟合线和垂直拟合线进行间距测量,得到间距参数输出。本发明建立了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113409295 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110737272.X G06N 3/04 (2006.01)
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