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一种芯片基质、测序芯片及其制备方法,该芯片基质包括:晶圆层(111),所述晶圆层(111)上具有均匀分布的切割线;第一氧化硅层(112),所述第一氧化硅层(112)由氧化硅构成,形成在所述晶圆层(111)的上表面;过渡金属氧化物层(113),所述过渡金属氧化物层(113)由过渡金属氧化物构成,形成在所述第一氧化硅层(112)的上表面。该芯片基质具有耐高温、耐高湿度等苛刻环境的特点,同时,通过改变含有待测序序列溶液的pH及表面活性剂等成分,可以使得芯片基质表面功能区特异性吸附待测序序列。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113396229 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 201980090338.1 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事
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