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本发明公开了一种吸附机构及吸附系统。本发明中,吸附机构包括:吸盘,吸盘内开设有第一气道和第二气道,且吸盘的底部开设有与第一气道相通的进气孔;吸盘内还设有与第二气道相通且贯穿吸盘的顶部的走气通道;交接装置,交接装置设置在吸盘中;交接装置具有支撑杆,且支撑杆用于在第一气道内通入气体时被气体顶出吸盘的顶部;以及;单向控制阀,设置在吸盘内,连接第一气道和第二气道;其中单向控制阀用于在第一气道内通入气体时关闭,还用于在抽出第一气道内气体时打开。与现有技术相比,使得吸附机构结构简单轻巧、整体尺寸小、且在转动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113410174 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110708390.8
(22)申请日 2021.06.25
(71)申请人 上海隐冠半导体技术有限公司
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