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本发明公开了一种无源光通信芯片的上包层凝胶制备方法,包括以下制备步骤,制备凝胶液:将TEOS、MTES、H2O和C2H5OH2混合,进行反应,反应产物包括SiO2;然后加入氨水和HPCD,常温搅拌3小时,陈化一周后加入HMDS,常温搅拌3小时后陈化一周,得到凝胶液。凝胶旋涂:使用涂胶机在石英晶园上旋涂,温度为22℃,相对湿度为45±5℃,旋涂时间共30s,前10s涂胶机转速为2000rpm,后20s涂胶机转速为5000rpm。膜层坚膜:在100℃温度下烘烤2小时;然后在420℃下退火1小时,完成
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113410142 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110640957.2
(22)申请日 2021.06.08
(71)申请人 无锡市芯飞通光电科技有限公司
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