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阀装置、流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法以及半导体制造装置.pdfVIP

阀装置、流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法以及半导体制造装置.pdf

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    提供一种能够精密地调整流量的阀装置。所述阀装置具有：操作构件(40)，其对隔膜进行操作，并设为能够在使隔膜(20)封闭流路的闭位置(CP)与使隔膜(20)开放流路的开位置(OP)之间移动；主致动器(60)，其承受被供给的驱动流体的压力，使所述操作构件向所述开位置或闭位置移动；调整用致动器(100)，其用于对被定位于开位置的操作构件(40)的位置进行调整；以及位置检测机构(85)，其用于检测操作构件(40)相对于阀体(10)的位移。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113423987 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202080012062.8 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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