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本发明提供一种用于二次电池的硅碳复合负极材料及制备方法、锂电池的制备方法，硅碳复合负极材料为氮、氟掺杂的非晶形石墨和P掺杂硅的复合结构，所述的复合结构从下至上依次为泡沫镍、P型掺杂硅、非晶形石墨、P型掺杂硅、氮氟同时掺杂的非晶形石墨，本发明磁控溅射的硅薄膜非常均匀，膜基结合力强，且P掺杂的硅导电性较纯硅而言导电性更强，等离子体增强的PECVD在制备石墨方面性能稳定，石墨薄膜较为均匀，黏着性高，制备的电池循环稳定性强，氟化和氮化的石墨导电能力、电解液浸润性进一步提升，硅的容量高，两者的优点相结合，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113422017 A
(43)申请公布日 2021.09.21
(21)申请号 202110681431.9 H01M 4/1395 (2010.01)
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