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本发明提供一种紫外胶预固化时间测量装置及方法，装置包括振动测试平台；子载体，安装在振动测试平台上，以随振动测试平台振动；激光发射组件，安装在子载体上；汇聚透镜，通过待测的紫外胶可移除地粘接在子载体上；紫外光源，被构造成照射紫外胶，使得紫外胶至少发生预固化，以改变汇聚透镜相对于子载体的位置；以及探测器阵列，被构造成记录激光发射组件发射的激光经汇聚透镜后的光强，以通过根据紫外光源照射紫外胶的时间和由于紫外胶的预固化导致的光强的变化确定紫外胶的预固化时间。本发明与目前依靠经验去选取预固化时间的方式相比
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113418599 A
(43)申请公布日 2021.09.21
(21)申请号 202110803459.5
(22)申请日 2021.07.16
(71)申请人 中国科学院半导体研究所
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