气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器.pdf

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本申请实施例公开了一种气体传感器的制造方法、声表面波微离心装置及气体传感器。其中，该气体传感器的制造方法包括提供一声表面波微离心装置，所述声表面波微离心装置包括一微型反应池，所述微型反应池中包括含有多层MXene材料的溶液；对所述多层MXene材料进行剥离，得到单层MXene材料；提供一半导体气体传感组件，并将所述半导体气体传感组件的指条敏感区反扣于所述微型反应池上；利用声学流旋涂法将所述单层MXene材料涂覆于所述半导体气体传感组件的指条敏感区，得到一气体传感器。经本方案制造的气体传感器可以有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113376215 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110781960.6 (22)申请日 2021.07.09 (71)申请人惠雨

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