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本发明提供了一种铜靶材侧边的抛光方法，所述抛光方法包括以下步骤：采用手持抛光设备对铜靶材的侧边进行半自动抛光处理；所述半自动抛光处理包括三道抛光工序，依次为第一道抛光工序、第二道抛光工序和第三道抛光工序；每一道抛光工序的给进速度依次递减。本发明提供的抛光方法彻底去除了靶材侧边因焊接高温形成的氧化物，从而避免了溅射过程中氧化物对镀膜质量的不利影响。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113400104 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110758400.9
(22)申请日 2021.07.05
(71)申请人 广东
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