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本发明公开了一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测方法。采用单光路吸收峰解调方法设计检测装置，从密封气孔充入被测气体，根据激光器的电流、温度调谐特性，使用低频率梯形波进行扫描，并叠加高频正弦波作为载波进行调制。由激光器发出的经调制后的激光经光束耦合器耦合进光学球形腔内，在腔内经过多次反射被被测气体吸收，然后由光束耦合器引出至光电探测器，转为电信号，然后经锁相放大器通过改进的吸收峰提取算法，配合功率归一化系数解调出吸收信号，由上机位反演出气体浓度并保存。本方法具备高灵敏度、高分辨率、多组分气体同时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113406020 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110562772.4
(22)申请日 2021.05.24
(71)申请人 杭州电子科技大学
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