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具备:服务器(10),具有存储部(12)以及使用存储于存储部(12)的数据进行规定处理的控制部(11);以及构成为能够与服务器(10)通信的通信终端(20)。而且,在存储部(12)中,针对多个分析对象物分别存储有加工数据,该加工数据在进行分光分析法时使用,与用于在检测基板(50)上形成凹凸构造(50a)的加工条件相关。另外,在存储部(12)中,针对多个分析对象物分别存储有分析数据,该分析数据用于根据通过进行分光分析法而获得的分析对象物的分光光谱分析分析对象物。控制部(11)若接收请求加工数据的信
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113412423 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202080012964.1 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
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