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本申请提供了一种晶圆测试数据的分析方法、平台、电子设备及存储介质,分析方法包括:获取多个批次的晶圆测试数据;根据目录分类信息区分晶圆测试数据,记录区分后的晶圆测试数据存储路径,并进行目录分类归档;根据目标目录分类信息,从目录中索引相应晶圆测试数据的数据路径,提取晶圆测试数据,并按照目标参数将晶圆测试数据合并成目标数据集;对目标数据集,进行视图构建及视图分析,和/或进行数据统计分析;本申请实现了晶圆测试数据的快速提取、分类、整合、分析,可提供有效的信息进行失效分析,改善设计和制造良率;利用目录索引
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113407531 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110565923.1
(22)申请日 2021.05.24
(71)申请人 芯天
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