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本申请提供了一种三维存储器及其制备方法。该方法包括：在衬底上形成包括交替叠置的电介质层和牺牲层的叠层结构，并形成贯穿所述叠层结构的沟道孔；经由沟道孔去除牺牲层的朝向沟道孔的一部分，以形成第一沟槽；在第一沟槽内依次形成阻挡层和电荷捕获层；以及在沟道孔的侧壁上形成隧穿层，以覆盖电荷捕获层和所述阻挡层。该三维存储器及其制备方法能够有效地抑制每个栅极层对应的电荷捕获层中的电荷扩散，从而提高电荷捕获层的存储可靠性，进而提高制备完成后的三维存储器的存储保持特性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113394228 B
(45)授权公告日 2022.05.20
(21)申请号 202110628570.5 (56)对比文件
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