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本发明公开了一种压力传感器泄露测试装置及操作方法，包括台架、氦质谱检测仪和氦气源；台架的安装台面上设置有若干传感器测试工位，安装台面下包括电控机柜和真空泵柜；传感器测试工位分别管路连接氦质谱检测仪、氦气源和真空泵柜；电控机柜电连接传感器测试工位、真空泵柜、氦质谱检测仪和氦气源。待检测压力传感器放置于传感器检测工位上，氦气源向传感器检测工位中注入氦气，真空泵柜对传感器检测工位进行抽真空，使得待检测压力传感器两侧形成压力差，并利用氦质谱仪检测待检测传感器抽真空一侧是否有氦气存在，如果存在，则说明待检
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113390576 A
(43)申请公布日
2021.09.14
(21)申请号 20201
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