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本发明公开了一种提高晶硅太阳能电池转换效率的氧化退火工艺，包括升温氧化工艺温度680～760℃，同时通入氮气5000～10000sccm和氧气500～1000sccm，时间300～600s；降温氧化工艺温度650～700℃，同时通入氮气20000～30000sccm和氧气3000～6000sccm，时间600～1000s；阶梯式降温退火一工艺温度600～650℃，同时通入氮气20000～30000sccm，时间1200～2000s；阶梯式降温退火二工艺温度550～600℃，同时通入氮气20000
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113421944 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110541141.4 (56)对比文件
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