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2023-06-22 发布于四川
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一种FeSe1-xTex靶材的制备工艺.pdf

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本发明公开了一种FeSe1‑xTex靶材的制备工艺，在热压烧结时，对烧结炉腔体以氩气抽洗三次，真空度保持在10‑2Pa，对模具中的粉胚施加27MPa的压强，在整个烧结过程中保持该压强，以30％的输出功率经由30min升温至400℃，再以50％的输出功率经由30min升温至目标温度400℃‑700℃，最终在400℃‑700℃保温12小时。本技术工艺制备的FeSe1‑xTex靶材相比于现有工艺所制备的靶材，其致密性得到了较大的提高，并且可以通过改变烧结目标温度连续调控FeSe1‑xTex靶材的致密性

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113402277 A (43)申请公布日 2021.09.17 (21)申请号 202110665675.8 (22)申请日 2021.06.16 (71)申请人上海大学

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