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本发明公开了一种深紫外线电催化辅助磁流变弹性体平整装置及方法。所述抛光装置包括抛光盘、第一驱动机构;所述抛光盘上方设有磁流变弹性体抛光机构和喷嘴;所述抛光盘上表面开设有多个光源槽,该光源槽内设有深紫外线光源,在深紫外线光源上方设有氧化镓晶体夹持机构;所述喷嘴设置在夹持机构的侧上方;所述磁流变弹性体抛光机构包括工具轴和抛光工具头、以及第二驱动机构;所述工具轴通过导线和电刷与所述抛光盘连接。通过本发明的抛光装置对氧化镓晶片实施高效、超光滑、无损抛光,可以获得亚纳米级粗糙度的无损表面。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113386045 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110798072.5 B24B 47/12 (2006.01)
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