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干式真空泵.pdfVIP

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    本发明的实施例提供了一种干式真空泵，涉及光伏半导体加工设备技术领域。干式真空泵包括壳体和两个一体式转子，壳体的内部开设有容置空腔，两个一体式转子转动安装在容置空腔内，两个一体式转子相互啮合，两个一体式转子用于同步反向转动，以排出容置空腔内的气体。干式真空泵的零件数量较少，减少加工难度，降低生产成本和装配难度，提升设备的性能和使用寿命。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113417852 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110920587.8 F04C 29/12 (2006.01) (22)申请日 2

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