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2023-06-22 发布于四川
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等离子体处理装置和被处理体的处理方法.pdf

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本发明提供一种在被处理体上的图案形成中能够应对伴随高度集成化的微细化和多样的形状图案的形成的等离子体处理装置和被处理体的处理方法。在实施方式的被处理体的处理方法中，被处理体包括第一凸部、第二凸部、被蚀刻层和槽部，槽部设置在该被处理体的主面并设置在该被蚀刻层，被夹在该第一凸部和该第二凸部之间，槽部的内侧的表面包含在该被处理体的该主面，该方法反复执行N次第一流程，其中，N为2以上的整数，第一流程包括：(a)在收纳有被处理体的等离子体处理装置的处理容器内在该被处理体的该主面保形地形成保护膜的步骤；和(

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394082 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110653982.4 H01L 21/02 (2006.01) (22)申请日 2

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