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公开了用于由嵌入在基板中的两个层的导体形成电路的装置、方法和系统。基板的两个层的部分和导体的部分被去除,形成穿过两个层和导体的腔体。阻隔材料沿腔体壁沉积。阻隔材料的一部分和基板的相邻层被去除,形成与导体的一部分接触的另一个腔体。然后通过导电金属对第二腔体的表面进行无电镀以形成电路的部分。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113424306 A
(43)申请公布日 2021.09.21
(21)申请号 201980091483.1 (74)专利代理机构 北京高沃律师事务所 11569
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