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本发明公开了一种用于刻蚀太阳能电池硅片的酸性制绒液和制绒方法、太阳能电池片及其制作方法。酸性制绒液包括：铜离子源、氟离子源和双氧水。采用上述酸性制绒液可以较好地对硅片表面制绒，进而在室温条件下和极短时间内在硅片表面上形成独立、完整且紧密排布的倒金字塔结构。该结构将入射光在制绒表面上的反射率降至4％，提高了太阳能电池效率。本发明所使用的酸性制绒液和制绒方法能够减少生产成本，降低反应温度，缩短反应时间，增加生产产能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113410319 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110670359.X H01L 21/306 (2006.01)
(22)申请日
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