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2023-06-22 发布于四川
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声波装置、滤波器和多路复用器。一种声波装置包括：支撑基板；压电层，其位于支撑基板之上；至少一对梳状电极，其设置在压电层上并且包括激发声波的电极指；温度补偿膜，其介于支撑基板和压电层之间，具有等于或小于电极指的平均节距的2倍的厚度，并且具有符号与压电层的弹性常数的温度系数的符号相反的弹性常数的温度系数；以及边界层，其介于支撑基板和温度补偿膜之间并且具有等于或大于电极指的平均节距的2.2倍的厚度，通过边界层传播的横波的声速小于通过支撑基板传播的横波的声速并且大于通过温度补偿膜传播的横波的声速。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113395054 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110265068.2 (22)申请日 2021.03.11 (30)优先权数据 2020-0444

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