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一种气溶胶辅助化学气相沉积的氧化镓薄膜的生长方法及氧化镓薄膜.pdfVIP

一种气溶胶辅助化学气相沉积的氧化镓薄膜的生长方法及氧化镓薄膜.pdf

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    本发明提供一种气溶胶辅助化学气相沉积的氧化镓薄膜的生长方法及氧化镓薄膜，属于纳米材料科学领域。该方法以镓类化合物水溶液为原料，以单温区高温管式炉与三通石英管为生长载体，以空气为载气，通过气溶胶辅助的化学气相沉积方法，合成氧化镓薄膜。本发明还提供上述制备方法得到的氧化镓薄膜，该氧化镓薄膜具备紫外光开关效应。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113388824 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110659219.2 (22)申请日 2021.06.15 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物

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