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本发明公开了制备钙钛矿吸收层的设备和方法及其应用，制备钙钛矿吸收层的设备包括：无机腔室、沉积腔室和有机腔室，所述无机腔室上设有第一进气口和第一压力调节口，所述无机腔室内设有第一蒸发舟，所述第一蒸发舟上盛放无机前驱物；所述沉积腔室与所述无机腔室连通，所述沉积腔室与所述无机腔室的连接处设有第一阀门，所述沉积腔室内设有基底载台，所述基底载台上方设有可转动地挡板，所述基底载台的倾角可调，并且所述沉积腔室上设有排气口；所述有机腔室与所述沉积腔室连通，所述有机腔室与所述沉积腔室的连接处设有第二阀门，所述有机
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113451516 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110725392.8 C23C 14/24 (2006.01)
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