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激光照射装置可以包括：光学系统，照射激光束；密封盒，包括截断从所述光学系统提供的所述激光束的两末端来使所述激光束通过的多个光束切割器；腔体，包括支承基板的工作台，以向该基板照射从所述密封盒提供的所述激光束；排气部，与所述密封盒连接；第一传感器，配置在所述密封盒内，且测量所述密封盒内的温度；以及控制部，根据由所述第一传感器测量出的测量温度，控制所述排气部使得所述排气部的排气压力可变。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113441853 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202011101674.2
(22)申请日 2020.10.15
(30)优先权数据
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