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本发明涉及光电探测器的技术领域,具体涉及一种Ⅲ族氮化物异质结光电探测器,包括探测器以及制备于探测器上的器件,所述探测器所用材料为Ⅲ族氮化物材料,所述器件包括从下到上依次设置的衬底层、下接触层、下势垒层、上势垒层和上接触层;所述上接触层和下接触层上分别设有上接触电极和下接触电极;所述上势垒层和下势垒层为异质结构,且所述上势垒层和下势垒层的界面上形成负极化电荷。本发明主要利用Ⅲ族氮化物异质界面的极化电荷来产生器件势垒,从而获得低暗电流、高光增益、快速响应的效果。本发明的光电探测器对应的探测波段可覆盖
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113471326 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110662245.0 H01L 31/0352 (2006.01)
(22)申请日 2021.
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