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本发明公开了一种利用扫描微波检测工作中的芯片内部温度场分布的装置及方法，涉及芯片温度检测领域。该装置包括微波信号发生装置、图像传感装置、扫描位移系统、样品放置平台、信号发生系统以及计算机控制系统；微波信号发生装置、图像传感装置均与计算机控制系统连接；计算机控制系统包括主机、计算机软件界面图像显示部分及外部驱动控制器，图像传感装置由光电转换CCD相机以及计算机软件界面图像显示部分组成；扫描位移系统包括扫描位移粗调装置和扫描位移微调装置，信号发生系统包括传输线、阻抗匹配部分、谐振腔、内部导体及导体末
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113432744 A
(43)申请公布日 2021.09.24
(21)申请号 202110699324.9
(22)申请日 2021.06.23
(71)申请人 中北大学
地址 03
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