一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片.pdf

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本发明提供了一种远紫外光(200～230nm)带通滤光片，包括光学石英玻璃和滤光膜。所述光学石英玻璃片为JGS2石英玻璃，所述滤光膜采用“空气|LHLHL...HLH|基片”的26层薄膜设计(H表示高折射率膜层，L表示低折射率膜层)。高折射率膜层采用HfO2，所述低折射率膜层采用SiO2。制备得到的滤光片可以在远紫外光(200～230nm)范围内透过率达75％以上，同时在235～265nm范围内截止，可以应用于KrCl、KrBr等准分子远紫外光源，提高其生物安全性，实现人机共存杀菌。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113433608 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110744010.6 (22)申请日 2021.07.01 (71)申请人厦门中科关爱光电研究院有限公司

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