基于ZnO多孔结构微球敏感材料的乙醇传感器、制备方法及其应用.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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基于ZnO多孔结构微球敏感材料的乙醇传感器、制备方法及其应用.pdf

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一种基于ZnO多孔结构微球敏感材料的乙醇传感器、制备方法及其在环境中检测乙醇蒸汽方面的应用，属于半导体氧化物气体传感器技术领域。本发明传感器由外表面带有两条平行、环状且彼此分立的金电极的Al2O3陶瓷管衬底、涂覆在Al2O3陶瓷管外表面和金电极上的敏感材料、置于Al2O3陶瓷管内的镍铬加热线圈组成。敏感材料为ZnO多孔结构微球敏感材料，ZnO微球直径约为1.5～2μm。本发明利用表面多孔结构的ZnO微球开发出了具有高性能的乙醇气体传感器。传感器检测下限可以达到0.5ppm。此外，本发明器件工艺简

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113433174 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110748156.8 (22)申请日 2021.07.02 (71)申请人吉林大学地址 13

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