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本发明提供一种能够提高NEAGaN电子源使用寿命的方法及装置。所述装置包括热电偶、温控仪、环形螺旋状管道、低温液体罐、安全阀、低温液体通道、低温控制阀、法兰、样品托。所述热电偶安装在样品托背面检测其温度变化,通过导线连接温控仪,所述温控仪与低温控制阀连接并向低温控制阀输送反馈电信号,所述低温控制阀通过控制低温液体的流速来达到温控效果,所述低温液体通道连接低温液体罐和环形螺旋状管道并向环形螺旋状管道输送低温液体,所述环形螺旋状管道呈圆周状紧密贴于样品托背面,在超高真空条件下铟焊连接所述样品托和G
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113488360 B
(45)授权公告日 2022.06.28
(21)申请号 202110634939.3
(22)申请日 2021.06.08
(65)同一申请的已公布的文献号
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