用于确定印刷图案的随机变化的方法.pdfVIP

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2023-06-23 发布于四川
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本文描述了一种用于确定衬底上的印刷图案的测量数据的方法。方法涉及：获得(i)衬底的原始图像(402)，包括与参考图案(401)相对应的印刷图案，(ii)原始图像的平均图像(403)，以及(iii)基于平均图像的复合轮廓(404)。进一步地，复合轮廓相对于参考图案的参考轮廓对准，并且原始轮廓(415)是基于对准的复合轮廓和复合轮廓(419)的管芯到数据库对准的输出从原始图像提取的。进一步地，方法基于原始轮廓确定多个图案测量结果(425)，并且基于多个图案测量结果确定与印刷图案相对应的测量数据。进一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113454533 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202080015882.2 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

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