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一种覆铜陶瓷基板表面缺陷处理的方法.pdfVIP

一种覆铜陶瓷基板表面缺陷处理的方法.pdf

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    本发明涉及半导体技术领域。一种覆铜陶瓷基板表面缺陷处理的方法，包括以下步骤：步骤一，覆铜陶瓷基板入料，通过皮带输送，需抛刷面朝上；步骤二，覆铜陶瓷基板途径研磨段研磨；研磨段设有陶瓷刷辊以及不织布刷辊；步骤三，覆铜陶瓷基板途径抛刷段抛刷，抛刷段设有至少两个不织布刷辊；步骤四，覆铜陶瓷基板途径水洗段，通过喷淋水洗将研磨、抛刷的铜粉冲干净，并由铜粉回收机进行回收；步骤五，覆铜陶瓷基板途径干燥段。本专利可以有效的去除铜表面缺陷(如：疙瘩、皱皮等)。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113453437 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110691597.9 B24B 41/047 (2006.01) (22)申请日

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