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本发明涉及用于通过传送模块运送基板的传送机器人及包括此的基板处理系统。本发明公开了一种基板处理系统，包括：传送模块，具有用于运送基板的传送机器人；一个以上的双工艺模块，设置在传送模块的一侧，同时出入两张基板，并且以水平方向配置用于放置两张基板的一对基板支撑部；一个以上的单工艺模块，设置在传送模块的一侧，出入一张基板，并且具有用于放置基板的一个以上的基板支撑部；其中，传送机器人包括第一基板放置部及第二基板放置部，分别具有放置基板的放置面并且位于相同的第一平面上，其中的至少一个以垂直方向旋转轴为中心
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113451186 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110313935.5
(22)申请日 2021.03.24
(30)优先权数据
10-2020-0
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