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用于探测MEMS传感器元件的污物的方法和设备.pdfVIP

用于探测MEMS传感器元件的污物的方法和设备.pdf

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    本发明涉及一种用于探测微机电传感器元件的污物的方法，所述方法包括以下步骤：输出用于控制加热装置的加热控制信号，以便加热传感器元件；接收测量信号，所述测量信号代表借助被加热的传感器元件所测量的物理参量；基于所测量的物理参量来求取：传感器元件是具有污物还是无污物；输出结果信号，该结果信号代表结果，该结果表明传感器元件是具有污物还是无污物。本发明还涉及一种设备。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113447057 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110325000.9 (22)申请日 2021.03.26 (30)优先权数据 102020203

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