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氮气密闭烘烤机台及基板进出烘烤装置的方法.pdfVIP

氮气密闭烘烤机台及基板进出烘烤装置的方法.pdf

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    一种氮气密闭烘烤机台，包含框架、烘烤装置及进料装置。框架包括第一端及第二端。烘烤装置设于框架并包括两个转换箱、连接转换箱的烤炉及两个分别设于转换箱的升降机构，每一转换箱具有连接壳体、充气壳体、设于连接壳体及充气壳体之间的内凸缘。连接壳体及内凸缘界定出连通室，充气壳体及内凸缘界定出转换室，升降机构包括升降台，升降台具有顶壁、底壁及分别连接顶壁及底壁的支撑柱，升降台在下降位置时，顶壁抵靠内凸缘上表面，转换室及连通室被顶壁间隔开，在上升位置时，底壁抵靠内凸缘下表面，转换室及连通室被顶壁间隔开。进料装置

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113473736 B (45)授权公告日 2022.05.03 (21)申请号 202010417046.9 (51)Int.Cl.

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