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本发明公开了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频方法及装置,属于半导体激光技术领域。该方法具体为S1:激发蓝光二极管阵列发出多个光束,并入射至同一区域;S2:对入射到同一区域的多束光束以相同的衍射角衍射,使其成为合束光;S3:将合束光一部分反射回到蓝光二极管阵列形成反馈,用于压缩线宽,另一部分透射输出窄线宽光束;S4:对透射输出的窄线宽光束形成振荡,同时进行倍频后输出;S5:将倍频后的输出光先分光再聚焦,输出深紫外光。还提出了一种基于光谱合束的多管蓝光半导体倍频装置。本发明的方法及装置是一种新型
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113488845 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202110736094.9 (51)Int.Cl.
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