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本发明提供一种丝网印刷方法及丝网印刷系统,丝网印刷方法包括:提供可移动载台;当可移动载台处于初始位置时,将丝网印版设置在可移动载台的周围,丝网印版具有待印刷图案,将半导体器件放置在可移动载台上,第一栅线与可移动载台接触,采用图像传感装置获取半导体器件至丝网印版的第一相对位置信息;在可移动载台的移动过程中采用激光发射部件和红外光接收部件获取第一栅线在半导体器件中的第二位置信息;根据第一相对位置信息和第二位置信息中的至少第二位置信息,采用移动件带动丝网印版移动,使待印刷图案与第一栅线对准;以丝网印版
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113442563 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110872243.4 (51)Int.Cl .
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