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一种半导体器件及其制备方法，涉及半导体技术领域。该半导体器件包括衬底；设于衬底上的半导体层，半导体层包括有源区和无源区；设于有源区上的源极、漏极以及栅极，其中，栅极位于源极和漏极之间；设于无源区上的栅极焊盘和漏极焊盘，漏极与漏极焊盘金属连接，栅极和栅极焊盘金属连接；以及设于源极上的源极测试焊盘。该半导体器件能够缩小半导体器件面积，提升半导体器件的集成度，并具有高抗湿气能力。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113437040 B
(45)授权公告日 2022.05.31
(21)申请号 202110724954.7 H01L 23/544 (2006.01)
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