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本发明涉及光电倍增管制作技术领域，具体而言涉及打拿极型光电倍增管阴极和打拿极瓦片镀膜设备及镀膜方法，包括：多个罩体，每个罩体均被设置成具有密封状态和开放状态，所述罩体处于密封状态时，内部形成镀膜腔室；镀膜系统，被设置在所述镀膜腔室内；主抽系统，包括主抽泵和连接到主抽泵抽气端的主抽管道，所述主抽管道第二端连接到所述镀膜腔室。对主抽泵进行隔离而不停机，破坏镀膜腔室的真空状态后使用预抽系统建立真空度优于10Pa的负压环境，再打开主抽泵的隔离，无需破除整个镀膜机系统的真空，无需频繁停启主抽泵，极大缩短了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113445009 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110723430.6 H01J 9/12 (2006.01)
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