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一种声表面波谐振器及其制作方法.pdfVIP

一种声表面波谐振器及其制作方法.pdf

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    本发明提供一种声表面波谐振器及其制作方法，该声表面波谐振器包括：压电层；第一金属膜层，第一金属膜层位于压电层的一侧，其中，第一金属膜层包括叉指式换能器和信号传输器，信号传输器与叉指式换能器连接；第一温度补偿膜层，第一温度补偿膜层位于叉指式换能器的远离压电层的一侧，第一温度补偿膜层覆盖叉指式换能器，且第一温度补偿膜层不覆盖信号传输器；阻挡层，阻挡层位于第一温度补偿膜层远离压电层的一侧，阻挡层覆盖第一温度补偿膜层，且阻挡层不覆盖信号传输器。本发明实施例提供的声表面波谐振器及其制作方法，能够实现声表面

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113452342 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110918720.6 (22)申请日 2021.08.11 (71)申请人 江苏卓胜微电子股份有限公司

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