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本公开实施例公开了一种测试样品的制备方法及测试样品。所述方法包括:提供待处理结构;其中,待处理结构包括相对设置的第一表面和第二表面,目标结构位于待处理结构内部;沿垂直于第一表面的第一方向,确定目标结构的中线与待处理结构的中线之间的第n个偏移量;其中,n为自然数;当第n个偏移量不满足第一预设条件时,从第一表面或第二表面对待处理结构进行第n次第一类减薄,并在第n次第一类减薄之后,确定目标结构的中线与待处理结构的中线之间的第(n+1)个偏移量;当偏移量满足第一预设条件时,确定待处理结构沿第一方向的第一
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113466267 B
(45)授权公告日 2022.07.29
(21)申请号 202110709070.4 G01N 1/28 (2006.01)
(22)申请日 2021.06.
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