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本发明涉及蒸镀掩模的制造方法。课题为提供不易受到工艺温度或环境温度影响的蒸镀掩模的制造方法。蒸镀掩模的制造方法包括：在玻璃基板之上形成保护层，在所述保护层之上形成镀覆生长层，在所述镀覆生长层之上通过电镀形成掩模部，使用溶液将所述玻璃基板溶解并除去，将所述保护层及所述镀覆生长层除去。所述保护层可以由对所述溶液具有耐受性的材料构成。所述保护层可以由树脂材料构成。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113445002 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110252771.X
(22)申请日 2021.03.08
(30)优先权数据
2020-0538
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