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MEMS振镜及其制作方法.pdfVIP

MEMS振镜及其制作方法.pdf

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    本公开提供了一种MEMS振镜及其制作方法。MEMS振镜包括：振镜部、外框、连接于振镜部与外框之间的转轴部，以及，疏水膜。其中，疏水膜至少包覆于转轴部的外表面。所述方法包括：提供基底层；在基底层中形成MEMS振镜的振镜部、外框以及连接于振镜部与外框之间的转轴部；至少在转轴部的外表面形成疏水膜。本公开一些实施例提供的MEMS振镜具有良好的抗疲劳性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113448080 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202111017550.0 (22)申请日 2021.09.01 (71)申请人 北京中科海芯科技有限公司

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