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感光性树脂组合物.pdfVIP

感光性树脂组合物.pdf

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    本发明的课题在于，提供即使延长显影时间对显影液的稳定性也优异的感光性树脂组合物等。本发明的解决手段是感光性树脂组合物，其含有(A)在分子内具有酚性羟基的碱可溶性树脂、(B)在分子中含有至少2个以上烷氧基甲基的化合物和(C)光致产酸剂，(A)成分含有下式(A‑1)、式(A‑2)和式(A‑3)所示的在分子内具有酚性羟基的碱可溶性树脂。[化1]

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113448167 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110317729.1 (22)申请日 2021.03.25 (30)优先权数据 2020-0582

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