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本发明是晶圆电镀设备自动上下料装置，其结构是机架上的上下料机构与定圆心及检测机构相邻设置，上下料机构与中转定位机构相邻设置，中转定位机构两侧设导轨，导轨由中转定位机构两侧延伸至中转定位机构另一端两侧后部，挂具移动开合机构包括挂具移动机构和挂具开合机构，挂具移动机构滑动连接在导轨上，挂具开合机构安装在中转定位机构与导轨远离中转定位机构的一端之间的机架上的顶安装架上。本发明的优点：实现了晶圆电镀前后的自动上下料和输送，有效提高了生产效率，防止破损。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113481575 B
(45)授权公告日 2022.04.12
(21)申请号 202110879481.8
(22)申请日 2021.08.02
(65)同一申请的已公布的文献号
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