一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用.pdfVIP

一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用.pdf

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本发明涉及光刻胶技术领域,且公开了一种光刻胶产酸树脂单体及其合成方法和应用。所述树脂单体的结构为:其中,R1为H或者甲基,R2为C1‑C12的烷烃,L1、L2为二价连接键,A1、A2、A3、A4各自独立的为F、H或者CF3,且A1、A2、A3、A4中至少有一个为F或者CF3。本发明特定结构的树脂单体,光致产酸的锍盐基团与不饱和丙烯酸酯连接,聚合后结合在树脂上,可有效防止酸的扩散,并且其阴阳离子在同一个结构中,进一步抑制了酸的扩散,能够有效的降低线边缘粗糙度,提高分辨率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113429324 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110688917.5 (22)申请日 2021.06.22 (71)申请人 徐州博康信息化学品有限公司

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