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本公开提供一种影像处理系统及其方法。该系统具有一影像撷取单元以及一影像处理单元。该影像撷取单元包括一相机、一光源以及一晶圆传输平台。该相机撷取一晶圆标记的影像。该光源是一可变光源,能够投射经过在该晶圆标记上的多个化学残留物,其中该相机通过该可变光源撷取该晶圆标记的该区域的多个影像。该影像处理单元具有一影像处理器以及一物件配对子系统。该影像处理器经配置以执行该影像处理器的多个计算,以产生一输出结果。该物件配对子系统具有一物件配对单元以及一存储器单元。该物件配对单元具有一人工智能统计模型,用以辨识该
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113542544 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110415728.0 (51)Int.Cl .
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