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本发明公开了一种利用双金属催化剂制备纤锌矿结构硅纳米线的方法,包括步骤:(1)以干净的硅片为衬底,采用真空热蒸发镀膜方法在衬底上蒸镀两种金属催化剂,形成厚度为2~10nm的双金属催化剂;两种金属催化剂为铝和金、铝和锡、或铝和铟;(2)惰性气体环境中,将步骤(1)蒸镀后的衬底加热至其上的双金属催化剂熔融产生液相,SiO蒸气在惰性气体的运输下在加热的衬底上持续反应沉积形成纤锌矿结构硅纳米线。本发明通过热蒸发低毒性的SiO得到了六方纤锌矿结构硅纳米线,简化了制备流程、降低了制备成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113443631 B
(45)授权公告日 2022.06.21
(21)申请号 202110647681.0 B82Y 40/00 (2011.01)
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